露点計 導入事例

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露点計は、ガスや空気に含まれている水分を測定する機器です。
一般的には、以下のような用途で多くの使用実績があります。
用途によって、適したタイプがポータブル型またはオンライン型に分かれます。

  • ・ボンベ内ガスの露点測定(N2、O2、Ar、H2、He、SF6、など)
  • ・空気分離ガス製造ラインの露点温度管理
  • ・ドライエア(ドライルーム内)の露点測定
  • ・半導体製造装置(グローブBOX)の露点測定
  • ・天然ガスや天然ガスタンク内雰囲気の露点測定
  • ・熱処理炉内雰囲気、または排気ガス含有の露点測定
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ボンベ内ガスの露点測定
(N2、O2、Ar、H2、He、SF6、など)

一般的な産業用ガスのボンベに充填されているガスの露点温度を測定します。
例えば、アルゴン溶接に使用するArガスに含まれる水分が多いと溶接面が酸化するリスクが高まるため、一定水準以下の水分含有量でなければなりません。
産業用ガスを使用する環境で、水分が混入すると製品品質に支障を来たす場合には、ボンベ内ガスの露点温度を測定し、ガスの品質を確認します。

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産業用ガス製造ライン(空気分離装置等)の
露点温度管理

産業ガスプラントで製造した産業用ガスを運搬する配管や貯蔵するタンクの周辺などに露点計センサーを設置し、24時間稼動し続ける製造ラインから供給されてくる産業用ガスの露点温度を常時測定します。
産業用ガス製造ラインで管理する露点温度には品質基準が設けられており、その基準を満たしているかを常時監視し、測定値の記録や緊急時の警報発報動作をします。

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ドライエア(ドライルーム内)の露点測定

工場はドライエア(乾燥空気)を各所へ供給し、様々な用途で使用されています。ドライエアは一定の乾燥状態が求められ、含有水分量に基準を設けている例が多く、基準を満たした状態であるかを判断する要素として露点計を使用します。供給元であるエアドライヤにセンサーを設置して露点温度を常時監視する方法のほか、工場各所へ供給する配管の任意の箇所からエアを抜き取ってスポット測定する方法があります。
また、ドライエアを室内に充満させるドライルームでは、センサーをルーム内に設置して室内雰囲気の露点温度を常時監視します。

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半導体製造装置(グローブBOX)の露点測定

半導体製造過程で使用されるガスは高純度が求められる場合が多く、ガス中の水分含有は製造品の品質に大きく影響を及ぼします。製品製造装置など、密閉されている箇所に供給するガスや密閉されている内部雰囲気の露点温度を測定するため、センサーを設置して常時監視します。
また、他の製造品でも広く使用されているグローブBOXなどの装置においても、装置内雰囲気や装置に供給するガスの露点測定に使用します。

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天然ガスや天然ガスタンク内雰囲気の露点測定

寒冷地で供給される天然ガスは、含有水分量によっては外気温の低下に伴う配管内部が凍結する恐れがあります。凍結を防止するため、天然ガス精製工程において水分吸着や除去実施して含有水分量を極力減少させる対策を採りますが、供給配管にセンサーを設置して水分含有量を常時監視します。
また、天然ガスを貯蔵運搬する際に使用するガスタンクは、気化ガスの引火爆発を防止するためにN2で内部置換します。内部の露点温度を測定し、その数値の推移にて置換状況を確認します。

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熱処理炉や電気炉などの炉内雰囲気、または排気ガスの露点測定

工業用炉では、工業用ガスを炉に供給して炉内雰囲気を特殊な状態にします。その炉で製造する製品は、内部雰囲気の成分や水分量の差が生じると品質に重大な影響が生じる恐れがあるため、内部雰囲気を抜き取り常時監視します。内部雰囲気が200℃を大きく超える高温の場合は、サンプル配管に冷却効果をもたらす部品を装着し、測定に最適な状態へ適宜調節して測定することもできます。
また、燃焼行程後の排気ガスにおいて含有水分量が製造品の品質に関連する例もあり、その場合は排気ガスの露点温度を定点常時監視または任意点スポット測定します。

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